在济南高新区山东产业技术研究院的洁净厂房内，艾恩半导体科技有限公司的离子注入机正在进行整机组装。电子展关注到，这家专注于芯片制造核心设备研发的科创企业，在鲁信创投的支持下将总部迁至山东，其产品国产化率突破8%，填补了山东省在该领域的空白。

离子注入机作为芯片制造的关键设备，其重要性仅次于光刻工艺。艾恩半导体总经理钟新介绍："在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件基本且核心的电学性能，是产业链上的重要卡点、堵点。甚至可以说，没有离子注入机，就没有当下的三代半导体产业"目前公司自主研发的新一代碳化硅离子注入机已进入客户验证阶段，预计今年还将推出硅基中束流离子注入机和新一代碳化硅机型。

离子注入机研发面临极高的技术门槛。钟新华指出，该设备涉及高压电子、机械、计算机控制等多个学科，需集成近2万个零部件，并实现0.1℃以内的角度精度控制。目前全球90%以上的市场份额被四家国外企业占据，国内企业在技术和市场上都存在明显差距。

鲁信创投党委副书记、总经理葛效宏表示："作为国有创投机构，我们坚持投早、投小、投硬科技的战略方向。艾恩半导体的技术突破将有效补强山东三代半导体产业链。"据了解，鲁信创投在2023年两次参与艾恩半导体天使轮融资，并协助企业对接更多投资机构，促成其总部落户山东。

在资金和资源支持下，艾恩半导体研发进展迅速。公司长寿命离子源技术已达到国内先进水平，正在研发的二代碳化硅离子注入机预计9月面市。特别值得关注的是，年底将推出的碳化硅大束流离子注入机将填补国内该领域的空白。

山东省的产业优势为艾恩半导体发展提供了良好环境。钟新华表示："离子注入机所需零部件半数可在山东本地配套，加上丰富的下游客户资源，为企业发展创造了有利条件。"公司计划3年内实现所有机型全覆盖，性能达到国际领先水平，并逐步扩大工艺产线和晶圆尺寸的覆盖范围。

鲁信创投党委书记、董事长王旭冬强调："我们将继续发挥专业投资和全方位赋能能力，既支持科技型企业发展，又推动产业链完善，探索科技金融服务的新模式。"电子展了解到，随着艾恩半导体等企业的成长，山东正在构建更加完整的三代半导体产业链，为我国半导体设备自主可控贡献力量。

来源：中国日报

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