电子展了解到，在现代化工业生产领域，质量流量计（MFM）已成为过程控制系统中不可或缺的关键组件。这类直接测量质量流量的精密仪器，凭借其不受温度压力影响的特性，正在半导体制造、新能源开发、生物医药等对测量精度要求严苛的领域发挥着重要作用。青岛芯笙微纳电子科技有限公司作为国内气体质量流量测量领域的技术领先企业，通过持续的创新研发，为市场提供了性能优异的质量流量测量解决方案。

芯笙微纳电子的核心技术建立在热式测量原理基础上。采用微机电系统（MEMS）工艺，在硅基芯片上集成了高灵敏度的加热元件和温度传感器阵列。这种创新的设计使得产品能够精确感知气体流动带来的温度变化，并将之转化为准确的质量流量数据。该系列产品测量精度可达±0.3%F.S.至±2.5%F.S.，量程比高达100:1至1000:1，能够满足从实验室研究到工业化生产的不同场景需求。

在半导体制造领域，芯笙的质量流量计已成功应用于CVD、PVD、蚀刻等关键制程中。这些工艺对硅烷、磷化氢、三氟化氮等特种气体的流量控制要求极为严格。产品采用316L不锈钢流道和特殊密封工艺，确保了对腐蚀性气体、高纯气体的兼容性。同时，通过优化的温度补偿算法和流体动力学设计，产品在宽温域条件下仍能保持稳定的测量性能。

在新能源领域，特别是氢能产业链中，芯笙的质量流量计展现出独特优势。针对氢气易燃易爆的特性，公司开发了专门的防爆型号，能够安全可靠地应用于制氢、储运等环节。在燃料电池电堆测试中，其快速响应特性为性能评估提供了精确的数据支持。在光伏产业，产品能够准确监测硅烷、氨气等关键工艺气体的流量，为提升光伏转换效率提供保障。

在生物医药领域，芯笙的质量流量计为发酵过程控制、层析系统等关键环节提供了精准的测量解决方案。产品采用符合行业要求的材质和结构设计，确保测量过程的可靠性。同时，其高重复性和长期稳定性大大降低了生产过程中的质量风险。

除标准产品外，芯笙微纳电子还建立了完善的定制化服务体系。电子展了解到，公司拥有专业的应用工程师团队，可以根据客户的特殊需求，在介质兼容性、量程范围等方面进行针对性优化。所有产品在出厂前都经过严格的多点标定和性能测试，确保交付的每一台设备都达到承诺的技术指标。

青岛芯笙微纳电子表示，未来将继续加大在MEMS传感技术领域的研发投入，通过持续创新来满足工业领域对精密测量的更高要求。公司正在开发新一代智能型质量流量计，将集成更多数字化功能，为客户提供更完善的使用体验。在推动国产高端测量仪器发展的道路上，芯笙微纳电子正以扎实的技术积累和可靠的产品质量，逐步赢得市场的广泛认可。

来源：中国日报

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